Holo/Or Ltd. (Israel):Holoor:ホロオア社 (イスラエル):回折型光学素子(DOE)メーカー
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ディープクリーブ(DEEPCLEAVE) DOE Holo/Or (Holoor)
シングルモードのガウスビームを0.25~3mmの長焦点深度(DOF)に沿って、一定のピークパワーでウエストサイズ約1.8umのタイトなスポットに集光するために設計した回折型光学モジュールです。
集光スポットは、対物レンズのNAが0.35に相当するため、ディープクリーブ(DeepCleave)は高NAの対物レンズやその他の高価な光学部品を追加する必要のない完全な光学ソリューションです。
Holo/Or社のディープクリーブは通常、近赤外波長域のレーザーガラス切断用途に使用され、フラットパネルのような厚いガラスの切断に最適です。また、緑色の可視光域のレーザーでは、顕微鏡用途としても使用されています。
レーザーフィラメントの形成
高エネルギーのレーザーでは、ガラス内部に「フィラメンテーション」と呼ばれる自己収束を起こすことができます。Holo/Or社のディープクリーブや回折型アキシコンなどは、ガラス内部に "フィラメント"を形成する方法としても使用され、特に超短パルスレーザー(UPS)向けのガラス切断のソリューションでディープクリーブを推奨いたします。
ガラス切断に有効な理由
ディープクリーブは、入射したシングルモードレーザーを焦点深度(DOF)の全範囲(典型的な範囲は1~2mm)にわたって、ウエストサイズが約1.8umのタイトスポットに集光します。集光スポットは、対物レンズのNAが0.35に相当し、フラットパネルのような厚いガラスの切断に最適です。モジュールは、透明素材の切断アプリケーションのための完全な光学的ソリューションです。高NAの対物レンズやその他の高価な光学部品を追加する必要はありません。
- 1回のパルスでガラスの全面カットが可能
- 1つのモジュールで完結するソリューション
- スポット径が2μm以下と非常に低い収差レベル
- 既存の光学機器への組み込みが容易
ディープクリーブの強度プロファイルのリアルタイム測定
セットアップ : ZT Module-007-I、カメラ+対物レンズ
ディープクリーブの利点
ディープクリーブの利点は、レーザーガラス切断用途の代替ソリューションです。長焦点距離のベッセルビームを生成するアキシコンなどのソリューションもありますが、そのシャープな伝達領域により、フラットトップ形状でエネルギーをほとんど「無駄にしない」という点で優れてます。
これは、しきい値以上のエネルギーで「オーバーシュート」するか、しきい値以下のエネルギーの「テール」でエネルギーを無駄にしてしまうベッセルビームの定義とは異なるためです。
アキシコンとは異なり、有効パルス領域内に最適なエネルギー分布を生成することでスループットが向上し、同じ基板の厚さを切断するための処理能力を削減できます。また、条件にもよりますが、同じ処理能力が適用される標準のベッセルビームよりも約2x厚いガラスを切断することも可能です。
これは、しきい値以上のエネルギーで「オーバーシュート」するか、しきい値以下のエネルギーの「テール」でエネルギーを無駄にしてしまうベッセルビームの定義とは異なるためです。
アキシコンとは異なり、有効パルス領域内に最適なエネルギー分布を生成することでスループットが向上し、同じ基板の厚さを切断するための処理能力を削減できます。また、条件にもよりますが、同じ処理能力が適用される標準のベッセルビームよりも約2x厚いガラスを切断することも可能です。
ディープクリーブとアキシコンに同量のエネルギーを与えたときの焦点軸(z軸)に沿った強度分布です。
仕様
波長 | 1030nm、1064nm、その他波長(セミカスタム) |
ビームモード | Single Mode M² < 1.3 |
DOF(air) | 0.25mm - 3mm |
ウエスト径 [exp^-2] | 1.8um |
効率 | ~93% |
W.D. | 7.4mm - 15 mm |
サイズ | 30.5 mm diameter x 106 - 250 mm length |
硝材 | 合成石英 |
コート | AR/AR |
製品一覧
型式 | 波長 (nm) | レーザー仕様 | 入射径 (1/e², mm) | DOF(air) (mm) | ウエスト径 (1/e², μm) | W.D. (mm) | データ シート |
ZT Module-004-J | 1030 | Single mode M2<1.3 | 6 (±10%) | 0.5 | 1.8 | 7.4 | |
ZT Module-005-J | 1030 | Single mode M2<1.3 | 6 (±10%) | 0.75 | 1.8 | 7.4 | |
ZT Module-006-J | 1030 | Single mode M2<1.3 | 6 (±10%) | 1.5 | 1.8 | 7.4 | |
ZT Module-007-J | 1030 | Single mode M2<1.3 | 6 (±10%) | 1 | 1.8 | 7.4 | |
ZT Module-008-J | 1030 | Single mode M2<1.3 | 6 (±10%) | 0.25 | 1.8 | 7.4 | |
ZT Module-009-J | 1030 | Single mode M2<1.3 | 6 (±10%) | 3 | 1.8 | 7.4 | |
ZT Module-004-I | 1064 | Single mode M2<1.3 | 6 (±10%) | 0.5 | 1.8 | 7.4 | |
ZT Module-005-I | 1064 | Single mode M2<1.3 | 6 (±10%) | 0.75 | 1.8 | 7.4 | |
ZT Module-006-I | 1064 | Single mode M2<1.3 | 6 (±10%) | 1.5 | 1.8 | 7.4 | |
ZT Module-007-I | 1064 | Single mode M2<1.3 | 6 (±10%) | 1 | 1.8 | 7.4 | |
ZT Module-008-I | 1064 | Single mode M2<1.3 | 6 (±10%) | 0.25 | 1.8 | 7.4 | |
ZT Module-009-I | 1064 | Single mode M2<1.3 | 6 (±10%) | 3 | 1.8 | 7.4 | |
ZT Module-010-I | 1064 | Single mode M2<1.3 | 10 (±10%) | 1 | 1.8 | 15.5 | |
ZT Module-011-I | 1064 | Single mode M2<1.3 | 12 (±10%) | 1 | 1.8 | 23.7 | |
ZT Module-009-R | 488 | Single mode M2<1.3 | 6 (±10%) | 3 | 0.85 | 7.4 | |