Holo/Or Ltd. (Israel):Holoor:ホロオア社 (イスラエル):回折型光学素子(DOE)メーカー
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LeanLine™ (M²変換モジュール DOE) Holo/Or (Holoor)
LeanLine™は、Holo/Or社の革新的なソリューションで、円形の入射ビームを細いレーザー・ラインに変換するモジュール品です。M²変換モジュール DOEを応用し、コヒーレンスの低いマルチモード(MM)の入射ビームを、1つの軸でほぼシングルモード(SM)のビーム品質に生成することができます。
既存のラインフォーカス光学系との統合が簡単なため、極細のレーザーライン(ライン長100mm~750mm)に変換するためのソリューションとして使用されています。また、低出力・低コストのレーザーを使用して同じ出力密度を細いラインで実現することができることから、コストを大幅に削減することができます。
アプリケーション
- レーザーリフトオフ
- レーザーアニール
- レーザー溶接
- 直接レーザー干渉パターニング(DLIP)
- OLEDディスプレイ
532nmレーザー、64mm x 28μmライン
355nmレーザー、100mm x 11μmライン
強度分布
特長
- アライメント、セットアップが簡単
- 完全透過型(反射なし)の軸上システム
- 収差フリー
- さまざまなライン長とライン幅にカスタマイズ可能
- 内部フォーカスなし
- DUVからNIRのレーザー向けで製作可能
加工対象の材料
- シリコン
- シリカオングラス
- ポリマー
- ITOオングラス
モジュール構成
M2変換モジュール : ビーム品質の変換とラインビームの生成
集光光学系 : ライン長とフォーカス調整
LeanLine™とシリンドリカルレンズの比較
例) 355nm、M²=25、ライン幅 30μm、焦点距離 150mm
LeanLine™ | シリンドリカルレンズ | |
入射ビーム径 | φ4.5mm | φ5.7mm |
レイリーレンジ | 1mm | 0.078mm |
仕様
波長 | 343nm、355nm、532nm |
入射 M² | 12 - 25 |
ライン長 | ご要望に応じて |
ライン均一性 | <5% |
線の太さ(FWHM) | < 20 [um] |
効率 | > 75 % |
W.D. | 125 [mm] |
エネルギー密度 | レーザー出力に依存 |
寸法 | TBD |
フルシステムの寸法 | TBD |
製品
基本的にカスタム品となります。詳細はお問い合わせください。