オンライン検査システム用に1064nmと532nmの色補正fθ(エフシータ)レンズを取り揃えております。色補正fθレンズを使用することにより、1機種で同時に複数の製造工程で使用することができます。また、共焦点顕微鏡用に設計した450nm～650nm波長域での色補正、355nmと1064nmの2波長で最適化した色補正fθレンズを取り揃えております。焦点距離とWDはいくつかの波長においては同等になり、レーザーと検査波長の波長帯域において結像面が同じになります。